摘要
本发明公开了一种在任何基底上生长单层二维材料的方法,步骤一、基底准备与预处理;步骤二、原位CVD生长系统初始化;步骤三、二维材料生长启动;步骤四、AI识别系统实时监测与分析;步骤五、AI控制飞秒激光蚀刻模块精准去除多层区域;步骤六、生长与去除过程动态调整;步骤七、单层二维材料生长完成确认;步骤八、样品取出与检测;本发明整合了原位CVD生长、AI实时识别与飞秒激光精准刻蚀三大技术,形成了一套系统化、自动化的单层二维材料生长方案,实现了在任意基底上单层二维材料的可控制备,突破了传统方法对特定基底的依赖。
技术关键词
单层二维材料
基底
CVD系统
识别系统
控制飞秒激光
飞秒激光刻蚀
蚀刻模块
深度学习算法
生长系统
多层二维材料
识别模块
反馈系统
原位
启动加热装置
区域位置信息
扫描电子显微镜
原子力显微镜
能量控制
系统为您推荐了相关专利信息
岩石特征
岩石识别
识别系统
灰度统计直方图
图像识别模块
细胞支架
培养液
细胞生长支架
细胞培养微器件
微流控芯片
多模式协同
挡土墙泄水孔
生物酶
效能模型
脉冲发生器
焊料组合物
纳米颗粒
涂覆层
金属氧化物颗粒
半导体封装