基于ANN优化LED外延片波长均一性的方法及系统

本发明提供一种基于ANN优化LED外延片波长均一性的方法及系统，涉及半导体技术领域，方法包括：获取历史LED外延片的生长参数和波长分布数据，并按照不同机台以及不同载盘进行筛选标记；基于不同机台以及不同载盘标记的生长参数和波长数据，构建输入数据集；训练构建人工神经网络模型，人工神经网络模型包括输入层、隐藏层和输出层，后一层的每一个神经元都与前一层的所有神经元联系，形成全连接的人工神经网络；输入目标波长数据，基于人工神经网络输出对应的目标生长参数，本发明能够解决现有技术中调温方式依赖经验和简单线性关系，无法充分发挥多温度控制单元对温场均匀性的调节优势，导致波长均一性差的技术问题。