4寸Wafer自动成膜设备

本发明公开了4寸Wafer自动成膜设备，包括，用于安装的框架，和位于框架框架顶部的全自动机械手系统；还包括：所述机械爪用于抓取4寸晶圆；所述机械爪的下方设置有成膜系统和烘干系统；所述溢流盒上布置有由抽风阀和抽风调节板构成的抽风系统。该4寸Wafer自动成膜设备，提升了成膜的均匀性和质量，同时大幅提高了生产效率和产品的良品率，采用水浴加热和超声辅助技术，确保成膜药液均匀受热并排除气泡，结合精确的旋转控制和高效的IPA浸泡与氮气烘干组合技术，优化了成膜和烘干效果，缩短了生产周期，减少了成膜损伤和剥离现象，减少了人工干预，提高了操作稳定性和生产效率，实现了全面自动化控制，延长药液使用寿命。