基于机器人柔性球头工具的抛光表面粗糙度预测方法

本发明涉及光学加工技术领域，尤其涉及一种基于机器人柔性球头工具的抛光表面粗糙度预测方法，首先建立柔性球头工具与工件的微观接触模型，确定柔性球头工具与工件之间的接触区域的第一压力分布；将柔性球头工具的振动转换为柔性球头工具的压力波动，得到加工时的总压力分布，进而形成第二压力分布；结合第二压力分布，以及柔性球头工具加工时的相对速度模型，得到柔性球头工具加工时的材料去除率模型；对材料去除率模型进行路径积分，得到加工过程中工件的表面高度变化；结合工件的原始表面高度和表面高度变化，得到工件加工后的表面粗糙度。本发明揭示了振动参数与表面粗糙度之间的定量关系，为优化抛光工艺参数和控制表面质量提供理论基础。