摘要
本发明公开了一种低翘曲且易研磨的印刷态膜封胶、制备方法及封装结构,涉及半导体芯片封装技术领域,印刷态膜封胶,以质量百分比计包括以下组分:填充剂81%‑88%,脂环族环氧树脂4%‑8%,MQ硅树脂1%‑2%,聚二甲基硅氧烷1%‑2%,酸酐类固化剂5%‑9%,表面活性剂0.3%‑0.5%,促进剂0.1%‑0.2%,流平剂0.2%‑0.4%和碳黑0.1%‑0.2%;其中,填充剂由第一球型二氧化硅和第二球型二氧化硅组成,第一球型二氧化硅的粒径为3‑25μm,第二球型二氧化硅的粒径为1‑5μm。本发明通过选择不同粒径的填充剂,以及在环氧体系中引入MQ硅树脂和聚二甲基硅氧烷,降低膜封胶的固化收缩率以及提高分散性,从而有效地降低膜封胶固化后的翘曲和吸水率,提高研磨效率以及芯片封装效率。
技术关键词
球型二氧化硅
MQ硅树脂
脂环族环氧树脂
酸酐类固化剂
低翘曲
聚二甲基硅氧烷
封装结构
聚醚类表面活性剂
三辊研磨机
预混料
填充剂
混合料
真空脱泡
芯片封装
流平剂