基于脉冲激光协同扫描的芯片辐照损伤识别系统及方法

本发明提供了一种基于脉冲激光协同扫描的芯片辐照损伤识别系统及方法，所述系统包括：脉冲激光输出模块和协同控制模块；脉冲激光输出模块用于将多路脉冲激光光源输出的激光光路耦合为单条激光光路；系统包括脉冲激光辐照状态和损伤识别状态，协同控制模块用于切换系统的工作状态当切换至脉冲激光辐照状态时，开启脉冲激光输出模块，控制位移台带动放置芯片的样品台移动，使芯片在设定的扫描范围内以设定的扫描精度移动；当切换至损伤识别状态时，开启电磁屏蔽罩以及高灵敏度CCD相机，对芯片施加偏置电压，识别芯片的发光情况，记录芯片的辐照敏感点。本发明能够高效率地得到芯片在脉冲激光辐照前后的损伤分布情况。