摘要
本发明公开了一种多芯片集成的光电传感器及其制造方法、FT测试方法,属于集成电路技术领域,该多芯片集成的光电传感器,包括图像传感器芯片,图像传感器芯片的正面具有感光区域和边缘区域,感光区域上设置透光构件,用于滤除干扰光,边缘区域有多个正面焊盘,用于电信号传输;光源芯片,光源芯片的顶部设置有发光区,底部设置有第一底部焊盘和第二底部焊盘,用于和图像传感器芯片的两个正面焊盘分别连通;RDL重构布线层,贯穿图像传感器芯片,以将图像传感器芯片正面的电信号传递至背面。通过将光源芯片直接芯片键合至CMOS图像传感器表面,大大缩小产品在X、Y和Z方向的尺寸,满足终端产品对于尺寸的需求。
技术关键词
图像传感器芯片
光电传感器
FT测试方法
焊盘表面
正面
多芯片
电信号
盖板结构
重构
布线
物理气相沉积工艺
图像传感器表面
光源
测试平台
透光
回流焊工艺
SMT贴片
集成电路技术