多芯片集成的光电传感器及其制造方法、FT测试方法

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多芯片集成的光电传感器及其制造方法、FT测试方法
申请号:CN202511188821
申请日期:2025-08-25
公开号:CN120751790B
公开日期:2025-11-11
类型:发明专利
摘要
本发明公开了一种多芯片集成的光电传感器及其制造方法、FT测试方法,属于集成电路技术领域,该多芯片集成的光电传感器,包括图像传感器芯片,图像传感器芯片的正面具有感光区域和边缘区域,感光区域上设置透光构件,用于滤除干扰光,边缘区域有多个正面焊盘,用于电信号传输;光源芯片,光源芯片的顶部设置有发光区,底部设置有第一底部焊盘和第二底部焊盘,用于和图像传感器芯片的两个正面焊盘分别连通;RDL重构布线层,贯穿图像传感器芯片,以将图像传感器芯片正面的电信号传递至背面。通过将光源芯片直接芯片键合至CMOS图像传感器表面,大大缩小产品在X、Y和Z方向的尺寸,满足终端产品对于尺寸的需求。
技术关键词
图像传感器芯片 光电传感器 FT测试方法 焊盘表面 正面 多芯片 电信号 盖板结构 重构 布线 物理气相沉积工艺 图像传感器表面 光源 测试平台 透光 回流焊工艺 SMT贴片 集成电路技术
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