摘要
本发明提供了一种半导体器件的封装方法,包括:提供临时载板和光电芯片,光电芯片的正面形成有金属分布线,光电芯片的背面形成有感光面,将感光面粘接在临时载板的表面;对光电芯片的正面进行注塑成型处理,以形成塑封层,塑封层封住光电芯片和金属分布线;去除临时载板;去除部分厚度的塑封层,以使得塑封层露出光电芯片的金属分布线;在塑封层的表面形成重分布金属线,重分布金属线与金属分布线电性连接;在塑封层的表面形成保护层,保护层露出所述重分布金属线和部分塑封层的表面;在保护层露出的塑封层的表面形成镍磷合金层。本发明通过塑封层封住光电芯片,从而实现对光电芯片的封装。并且减少了基板的存在,减少了封装材料的成本。
技术关键词
光电芯片
封装方法
半导体器件
镍磷合金层
金属线
正面
封装材料
载板
螺柱
胶带
基板
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