基于工业集成电路制造中高精度温度控制方法及系统

本发明涉及远程监控技术领域，揭露了一种基于工业集成电路制造中高精度温度控制方法及系统，包括：配置工业集成电路制造中光刻机的温度传感器阵列，采集光刻机的多源温度数据，建立光刻机的腔室数字孪生模型，根据多源温度数据，计算腔室数字孪生模型的三维温度梯度；分析光刻机的热流演变路径，以确定光刻机的局部热点区域；分析光刻机的光刻机工况，以定义光刻机的多模态控制指令；将混合控制指令分解为加热器组控制指令、冷却系统控制指令以及气体流场调制指令，以执行工业集成电路制造的高精度温度控制。本发明可以提高工业集成电路制造的温度控制精度。