一种石英喷嘴制备方法

AITNT
正文
推荐专利
一种石英喷嘴制备方法
申请号:CN202511223594
申请日期:2025-08-29
公开号:CN121018774A
公开日期:2025-11-28
类型:发明专利
摘要
本申请涉及芯片加工设备技术领域,且更为具体地,涉及一种用于芯片制程工艺上的石英喷嘴的制备方法,制备方法步骤如下:S1、对圆筒柱状空心原材料进行切割,形成半成品产品,其下料厚度为;S2、对半成品的两端面进行研磨,研磨厚度为;S3、对研磨后的半成品进行机加工;S4、对机加工后的半成品一次洗净处理;S5、对洗净后的半成品抛光;S6、对抛光后的半成品二次洗净处理,半成品形成成品;S7、对外观合格的成品进行包装;其中,mm,为单面厚度研磨量,为抛光余量,为成品厚度。
技术关键词
半成品 石英 芯片制程工艺 纯水 抛光刀具 金属刀具 硝酸 氢氟酸 水槽 机械抛光 单面 抛光液 螺旋 退火炉 柱状 圆筒 钻孔
系统为您推荐了相关专利信息
1
一种恒温加速度计及其温漂抑制方法
石英振梁加速度计 NTC热敏电阻 温漂抑制方法 PI控制器参数 H桥驱动电路
2
一种低金属腐蚀的弱酸性钨CMP后清洗剂及制备方法与应用
清洗剂 羟基黄酮衍生物 复合添加剂 三嗪环 表没食子儿茶素没食子酸酯
3
玻璃碳模压模具超光滑表面超精密切削加工方法及位控-力控协同控制超高温模压方法
模压模具 超光滑表面 单点金刚石车床 模压方法 石英玻璃
4
一种基于智能应用的石英晶振电车控制方法
石英晶振 数据分析模型 电车 短期频率稳定度 阻抗相位角
5
一种共载石杉碱甲-木犀草素脂质立方液晶纳米粒离子敏感型凝胶的制备方法
立方液晶纳米粒 石杉碱甲 HPMC溶液 细胞超声 凝胶
添加客服微信openai178,进AITNT官方交流群
驱动智慧未来:提供一站式AI转型解决方案
沪ICP备2023015588号