摘要
本发明提出了一种激光芯片光谱测试的对位装置及其使用方法,属于芯片光谱检测领域,包括转盘、载台、探针机构及光谱检测模块,芯片放置在载台的工位上;探针机构给芯片加电;光谱检测模块接收并确认芯片发出的光谱能量是否达标,光谱检测模块对光谱能量达标的芯片进行光谱检测;载台相对于转盘平移来调整芯片与光谱检测模块的相对位置,直至光谱检测模块确认光谱能量达标。本发明设置载台相对于转盘平移来调整芯片与光谱检测模块的相对位置,而使光谱检测模块能够充分接收到芯片放出的光谱能量以提升光谱检测的精确性。
技术关键词
对位装置
探针机构
载台
矫正机构
旋转驱动机构
工位
模块
激光
矫正芯片
升降驱动机构
滑台
斜面
连线
地面