工艺参数优化方法、系统、原位在线检测装置、计算机设备及存储介质

本申请提供了一种工艺参数优化方法、系统、原位在线检测装置、计算机设备及存储介质，本申请获取工艺参数和预设窗口内的测量数据；基于测量数据，提取表征晶圆表面生长物理状态的特征参数；将特征参数和工艺参数输入预训练的预测模型中，得到表征生长状态趋势和光电特性变化趋势预测结果；基于预测结果优化工艺参数，优化后的工艺参数用于晶圆在下一预设窗口的外延生长工艺过程。采用上述方案，本申请从原始的测量数据中提取表征生长物理状态的特征参数，基于该特征参数，本申请无需依赖于先验模型和参数，自动解析多参数之间的高维度关系、找到全局最优的工艺窗口，生成的预测结果与实际生长机理一致，有效提高了工艺过程准确性及产品良率。