一种可增程搬运多规格晶圆的机器人

本实用新型公开了一种可增程搬运多规格晶圆的机器人，属于晶圆设备技术领域，包括：底座，所述底座上设置有增程移动机构，所述增程移动机构上安装有伸缩移动机构，所述伸缩移动机构上设置有取片机构，所述底座上设置有至少一个晶圆盒。本申请兼容多规格晶圆：能够同时搬运6寸、8寸、12寸等多种常用规格的晶圆片，极大提升了设备的通用性和灵活性。提升搬运效率和精准度：通过增程移动机构和伸缩移动机构的组合，实现了多自由度的移动，从而扩大了机器人的运行行程，并提高了搬运过程中的定位精度。自适应调整机制：根据晶圆的不同尺寸，自动调整牙叉的位置和间距，保证了各种规格晶圆片的稳定抓取，避免了操作失误和晶圆污染。