流體控制裝置、流體控制裝置用控制單元、流體控制方法和存儲介質

本發明提供流體控制裝置、流體控制裝置用控制單元、流體控制方法和存儲介質，能在實現高速回應的同時進行高精度的流量控制，觀測器基於流量感測器輸出的流量測定值與流量感測器模型輸出的流量推定值的偏差，求出推定流量感測器模型相對於流量感測器的模型誤差的模型誤差推定值、以及推定流體控制閥的變化導致的流量誤差的流量誤差推定值，將模型誤差推定值輸入流量感測器模型，並基於流量誤差推定值和閥模型輸出的閥流量推定值向回饋控制器輸出推定值。