MEMS结构、MEMS结构的制作方法和MEMS传感器

本申请公开了一种MEMS结构、MEMS结构的制作方法和MEMS传感器。所述MEMS结构包括：可动层、电极层和绝缘层；所述电极层设置于所述绝缘层上，所述可动层设置于所述电极层上，且所述可动层与所述电极层之间设置有可动间隙；所述电极层上的设定位置处设置有第一形变区，所述绝缘层不延伸至所述第一形变区，使所述可动层抵触到所述第一形变区时，所述第一形变区具有形变空间。本申请提供的MEMS结构实现了在不增加芯片的额外尺寸的情况下，避免了可动层的崩边、碎裂等情况的发生，提高了MEMS结构的可靠性。