电容式小型六维力传感器、优化设计及六维力解耦方法

一种电容式小型六维力传感器、优化设计方法及六维力解耦方法，该传感器包含三T型梁式弹性体、下电极板、上电极板和底座，三T型梁式弹性体将外界六维力转换为位移变化，上电极板与弹性体连接，上电极板与下电极板形成六组正对电极，包括三组水平和三组垂直布置的电极，构成六组平行平板电容结构。当传感器受到外力作用时，弹性体的形变带动上电极板产生位移，改变电容值，将力的信息转化为六个电容信号输出。该传感器设计紧凑、尺寸小，便于集成至机器人手指尖等狭小空间。基于电容测量原理，具有优异的动态响应性能，能快速响应外力变化。该传感器具有高灵敏度，各方向刚度一致，有效降低力的耦合效应，结合解耦算法实现高精度六维力解耦。