摘要
本发明公开了一种芯片上表面互连增强散热的单面碳化硅功率模块,包括高导热绝缘基板,碳化硅芯片的上表面通过高导热绝缘基板完成电气连接,在降低了电气寄生参数的同时,为单面散热的碳化硅功率模块提供了一条额外的散热路径,将芯片所产生的热量扩散至更大的面积,增大了向底板传递热量的有效面积,大幅提高碳化硅功率半导体芯片的散热能力,有效降低碳化硅芯片的最高温度与温度波动。
技术关键词
碳化硅功率模块
功率半导体芯片
导电金属区域
导电层
导热绝缘基板
单面
高导热
碳化硅芯片
衬底
CVD金刚石
导电垫块
热解石墨
功率端子
系统为您推荐了相关专利信息
蓝光LED芯片
半导体层
发光二极管
绿色量子点
电流阻挡层
磁控溅射沉积
光刻胶层
刻蚀液浓度
功率
透明导电层