一种芯片上表面互连增强散热的单面碳化硅功率模块

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一种芯片上表面互连增强散热的单面碳化硅功率模块
申请号:CN202410762800
申请日期:2024-06-13
公开号:CN118712148A
公开日期:2024-09-27
类型:发明专利
摘要
本发明公开了一种芯片上表面互连增强散热的单面碳化硅功率模块,包括高导热绝缘基板,碳化硅芯片的上表面通过高导热绝缘基板完成电气连接,在降低了电气寄生参数的同时,为单面散热的碳化硅功率模块提供了一条额外的散热路径,将芯片所产生的热量扩散至更大的面积,增大了向底板传递热量的有效面积,大幅提高碳化硅功率半导体芯片的散热能力,有效降低碳化硅芯片的最高温度与温度波动。
技术关键词
碳化硅功率模块 功率半导体芯片 导电金属区域 导电层 导热绝缘基板 单面 高导热 碳化硅芯片 衬底 CVD金刚石 导电垫块 热解石墨 功率端子
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