半导体激光器系统分区控温装置及方法

提供一种半导体激光器系统分区控温装置，可应用于光电子技术领域。该装置包括：第一控温模块，包括第一微通道热沉、第一电路基板和第一热敏电阻；第二控温模块，包括第二微通道热沉和第二电路基板；第三控温模块，包括第三微通道热沉、第三电路基板、第三热敏电阻和电热模块；控温系统，包括精密控温控制器、冷却介质控温系统、出液管道和进液管道，用于调控第一控温模块、第二控温模块和第三控温模块的温度；电路母版，用于连接控温系统与第一控温模块、第二控温模块和第三控温模块中的至少一个模块。通过设置不同精度的控温模块，实现了高精度分区温控。本公开的实施例还提供一种半导体激光器系统分区控温方法。