摘要
本发明公开了一种集成电路芯片生产加工处理设备及方法,涉及集成电路芯片加工技术领域,包括底板,所述底板上设置有打磨机构一,所述打磨机构一上设置有打磨机构二。本发明通过当前晶圆板的尺寸,调节液压杆的内杆伸缩,使得晶圆板的外壁位于U板之间,旋转调节手轮带动螺柱一推动打磨片一,促使两个打磨片一相互靠近从而贴合晶圆板,拧松螺母,旋转紧固螺栓,从而带动摇臂在两个连接片一之间翻转,并通过铰接翻转调节板,促使打磨片二贴合晶圆板的圆边,电机使转轴带动防滑片一旋转,通过夹持力带动晶圆板在两个防滑片之间旋转,同时对晶圆板的外壁和外边进行打磨作业,省去了二次加工的步骤,提高打磨效率。
技术关键词
集成电路芯片
打磨机构
吸尘风扇
集尘箱
打磨去毛刺
螺柱
碎屑粉末
调节手轮
防滑片
底板
夹持机构
液压杆
安装板
正面
螺栓
通孔
箱门
圆心
电机
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