摘要
本发明涉及磨削装置技术领域,具体涉及一种半导体芯片生产用硅棒修整装置,包括打磨箱,所述打磨箱表面的两侧对称开设有连接槽,连接槽的内部滑动连接有连接齿,连接齿的表面固定连接有连接座,连接座的表面螺纹连接有夹套。本发明通过夹套带动硅棒在打磨箱中滑动,并通过连接电机带动连接齿转动,配合打磨机构对硅棒的表面进行打磨,可以对硅棒进行自动打磨,并通过限位头与槽口之间的滑动效果,确保硅棒表面的平整度,通过顶推定位板对打磨后硅棒的直径进行测定,通过定位板的滑动带动齿条滑动,通过转向齿及齿轮的转动,可通过皮带轮带动中间齿转动,以此对线型割断器及切割器进行调整,方便切割,提高工作效率。
技术关键词
修整装置
半导体芯片
切割器
三角架
打磨机构
弹簧卡块
打磨板
硅棒表面
皮带轮
割断器
磨削装置
伺服电机
齿条
线型
定位块
夹套
联轴器
齿轮
拉环
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