一种基于深度学习的位错柏氏矢量智能分析方法

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正文
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一种基于深度学习的位错柏氏矢量智能分析方法
申请号:CN202410805685
申请日期:2024-06-21
公开号:CN118822961B
公开日期:2024-12-20
类型:发明专利
摘要
本发明公开了一种基于深度学习的位错柏氏矢量智能分析方法,包括如下步骤:通过透射电镜获取样品的若干位错图像,标注获得位错信息,并建立数据集训练深度学习网络模型,以获得位错识别模型;通过透射电镜获取样品系列衍射矢量下的位错图像集合,通过位错识别模型获取位错图像集合的位错信息,结合各衍射矢量下的倾转角度对位错信息进行校准,得到校准后的位错信息;根据校准后的位错信息,获得各衍射矢量下的位错可见性信息,从而分析获得位错柏氏矢量。本发明提供的基于深度学习的位错柏氏矢量智能分析方法,能够实现位错的快速智能识别和标注,并且通过对各衍射矢量的位错信息进行校准,提高了柏氏矢量分析的精度和效率。
技术关键词
智能分析方法 深度学习网络模型 图像 校准 掩膜 系列 四边形 坐标 标注软件 数据 精度
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