一种三维压差式MEMS矢量水听器及制备方法

本发明提供了一种三维压差式MEMS矢量水听器及制备方法，属于MEMS技术水声通信传感技术领域，包括陶瓷管壳，定义上端面、下端面以及外侧面均为第一安装面，定义棱边面为第二安装面；第一安装面上安装有ASIC芯片，ASIC芯片的外端面安装有MEMS水听器芯片；任一第二安装面上设有电源焊盘和接地焊盘，其余第二安装面上设有多个输出焊盘。本发明提供的一种三维压差式MEMS矢量水听器，在中高频段性能优于质点振速型矢量水听器，可以空间共点、时间同步测得声场中某场点声压和声压梯度信息，实现水下声源测向、定位等功能。相比于传统压电陶瓷水听器，更小的重量、更低的功耗，更高的可靠性，更快的响应速度，更高的分辨率和灵敏度，更大的动态范围。