晶圆的失效分析方法、装置、计算机设备和存储介质

本申请涉及一种晶圆的失效分析方法、装置、计算机设备和存储介质，其中，该晶圆的失效分析方法包括：获取待检测晶圆的失效位图；根据预设的多个缺陷类别，确定对应的检测顺序，其中缺陷类别为失效位图中不同的缺陷像素点组合；基于各缺陷类别对应的检测顺序，对失效位图进行检测，得到多个检测结果；进一步地，根据各检测结果，输出待检测晶圆的失效信息。通过本申请，解决了无法基于不同的缺陷类别，对晶圆进行全面和精准的失效分析的问题，实现了基于不同的缺陷类别对晶圆进行全面和精准的失效分析，提高失效分析结果的准确性。