一种面向视觉感知的光电感存器件及其制作方法

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一种面向视觉感知的光电感存器件及其制作方法
申请号:CN202410894373
申请日期:2024-07-04
公开号:CN118921990A
公开日期:2024-11-08
类型:发明专利
摘要
本发明一种面向视觉感知的光电感存器件及其制作方法,器件由光电探测器和非易失性存储器焊接组成;光电探测器将入射光信号转为电信号,即实现光电感知功能;所述电信号激励非易失性存储器产生电阻变化,完成非易失性存储;所述光电探测器和存储器之间通过芯片键合技术连接。本发明解决了传统的视觉图像处理技术长期面临能耗大、集成度低以及工作机制复杂、硅工艺不兼容、不能大规模化应用的问题。
技术关键词
非易失性存储器 薄膜沉积工艺 金属电极 氧化铪薄膜 功能材料 可见光光电探测器 阻变存储器 视觉图像处理技术 光电探测器材料 相变存储器 氮化钛 光刻工艺 芯片键合技术
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