摘要
本发明一种面向视觉感知的光电感存器件及其制作方法,器件由光电探测器和非易失性存储器焊接组成;光电探测器将入射光信号转为电信号,即实现光电感知功能;所述电信号激励非易失性存储器产生电阻变化,完成非易失性存储;所述光电探测器和存储器之间通过芯片键合技术连接。本发明解决了传统的视觉图像处理技术长期面临能耗大、集成度低以及工作机制复杂、硅工艺不兼容、不能大规模化应用的问题。
技术关键词
非易失性存储器
薄膜沉积工艺
金属电极
氧化铪薄膜
功能材料
可见光光电探测器
阻变存储器
视觉图像处理技术
光电探测器材料
相变存储器
氮化钛
光刻工艺
芯片键合技术
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