三维霍尔传感器及空间磁场矢量的测量方法

本发明提供了一种三维霍尔传感器及空间磁场矢量的测量方法，包括第一霍尔效应元件、第二霍尔效应元件和导磁部件，第一霍尔效应元件和第二霍尔效应元件叠置于基板之上，用于感测沿基板表面的正交方向的磁场矢量，导磁部件位于第一和第二霍尔效应元件之上，用于将平行于基板表面的磁场分量进行偏转并沿其正交方向导出磁场信号，两个霍尔效应元件独立工作。本发明通过将两个霍尔效应元件以部分重叠的方式相关于同一基板进行定位，易于实现功能元件的定位精度以及装配稳定性，导磁部件分别与两个霍尔效应元件的磁感应功能区在基板表面的正投影形成面积不同的交叠区域以将与磁感应功能区平行的磁场分量进行偏转并沿其正交方向导出磁场信号。