集成式制冷红外芯片及其制备方法、制冷红外探测器

本发明涉及一种集成式制冷红外芯片，包括阵列分布的多个像素结构，每个所述像素结构包括像素读出电路、微透镜和光敏元，所述光敏元与所述像素读出电路互联，所述光敏元背离所述像素读出电路的一侧具有支撑墙，所述微透镜支撑于所述支撑墙上，所述支撑墙形成有光入射窗口，所述微透镜聚集的光从所述光入射窗口射至所述光敏元中。还提供一种制冷红外探测器和一种集成式制冷红外芯片的制备方法。本发明采用支撑墙来撑起微透镜，并在支撑墙上设计光入射窗口，限定微透镜聚集的光只能够从该光入射窗口射入红外芯片，可以避免透镜聚焦偏移带来的光学串扰。