摘要
本申请提供了一种具有空腔的台阶基板制造方法,包括:在衬底上压合键合层;在键合层背离衬底的一侧压合开窗板;溶解键合层上相对于开窗板的窗口的位置处的键合材料;固化键合层。通过优化的键合工艺,在开窗板键合后,有效减小开窗板开窗中溢胶,且键合层固化前,溶解去除槽底的未固化的键合材料,能够去除槽底的键合材料和溢出胶,避免槽底溢胶导致芯片无法贴片和引线键合。
技术关键词
台阶
基板
空腔
真空压膜机
通孔金属化
衬底
焊盘
热固性树脂
光敏树脂
压力
贴片
涂敷
芯片
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