一种太赫兹频段探针测量误差感知反馈补偿结构及探针测试校准方法

本申请公开了一种太赫兹频段探针测量误差感知反馈补偿结构及探针测试校准方法，属于太赫兹设备领域。针对现有技术中，当探针定位不当引起的俯仰、偏航、扭转等误差会导致探针头尖端触点不能同时接触到被测芯片，引起太赫兹信号检测的不准确性的问题。本申请中，基于传感电信号与偏转角度间影响规律，实现太赫兹频段探针测量误差的感知。同时通过结合太赫兹信号测量系统的载物台实现基于误差数据的探针位置反馈补偿。基于CCD相机的图像，初步确立探针尖端距离待测芯片的高度范围。基于探针夹具传感电压反馈至载片台和探针夹具，通过操作电机调整探针尖端与被测物体的角度，从而使太赫兹探针尖端头上所有触点同时与被测物体接触且具有相同的接触力。