半导体电镀系统

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半导体电镀系统
申请号:CN202410958490
申请日期:2024-07-17
公开号:CN118773712A
公开日期:2024-10-15
类型:发明专利
摘要
本申请公开了半导体电镀系统,包括:半导体电镀面图像采集模块、半导体电镀面图像预处理模块、半导体电镀面图像特征提取模块、半导体电镀质量检测模型训练模块、实时质量检验模块,采用了半导体电镀面图像采集模块等技术手段,所以有效解决了现有技术中的技术问题,进而实现了在半导体电镀后,通过采集其电镀面图像,利用模型对样本进行分析和评估,输出质量评分或者判断样本是否合格,能够实现高效、准确的质量检验,提高半导体电镀的生产效率和产品质量的效果。
技术关键词
半导体电镀系统 质量检验模块 检测模型训练 图像采集模块 图像特征提取 机器学习模型 边缘检测算法 样本 颜色直方图 纹理特征 描述符 对比度 数据 色彩
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