用于外延反应器的晶片装载和卸载系统以及外延反应器
申请号：CN202410994374
申请日期：2024-07-24
公开号：CN119419149A
公开日期：2025-02-11
类型：发明专利
摘要
一种用于将晶片(2)装载和卸载到外延反应器(4)的反应室(3)中的系统(1)，该系统(1)包括搬运机器人(5)；线性致动器(6)，其沿着平移轴线(7)延伸，其中搬运机器人(5)配置成将晶片(2)转移到线性致动器(6)，并且其中线性致动器(6)配置成从搬运机器人(5)接收晶片(2)并且沿着平移轴线(7)移动晶片(2)以便将晶片(2)放置在反应室(3)内。
技术关键词
线性致动器
搬运机器人
外延反应器
冷却站
末端执行器
提升系统
行程
卸载系统
引导传送装置
轨道
铰接臂
手柄
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