一种微型光离子探测器及其制备方法

本发明公开了一种微型光离子探测器及其制备方法，微型光离子探测器包括芯片，芯片包括从下而上依次设置的基底层、硅片层和金属电极层，硅片层和金属电极层中部开设成预设形状结构的窗口，窗口的顶部距离为250µm~380µm，窗口的底部距离不小于200µm。本发明提供的微型光离子探测器结构，在保证激活面积和电压一定的情况下，减少了电极间距，增大了电场，可以将极微量的检测物所电离的带电离子收集，增加了灵敏度。解决了现有的微型光离子探测器的灵敏度低的技术问题。