一种高可靠绝缘金丝键合方法

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一种高可靠绝缘金丝键合方法
申请号:CN202411007323
申请日期:2024-07-25
公开号:CN118943109A
公开日期:2024-11-12
类型:发明专利
摘要
本发明提供了一种高可靠绝缘金丝键合方法,包括以下步骤:S1:选取待键合的两种芯片,将两种芯片粘接到管壳内部;S2:根据键合图纸,对管壳、芯片表面特征点进行图像识别,进行键合程序开发;S3:在其中一个芯片的焊盘上植金球;S4:从另一个芯片上的焊盘通过绝缘金丝进行连线,连线采用调节线弧模式压焊在金球上;S5:对焊接好的键合金丝进行可靠性检测。本发明基于绝缘金丝键合工艺,采用BSOB线弧配合调节线弧模式,确保键合后绝缘金丝强度满足测试要求,避免出现因绝缘金丝键合强度不足引起的器件失效。
技术关键词
金丝键合方法 导电环氧树脂 绝缘 管壳 MEMS芯片 ASIC芯片 合金丝 焊盘表面 连线 特征点 键合丝 焊接工艺 模式 图纸 强度 球形 在线 程序
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