机械臂及真空机械臂装置

本申请提供了一种机械臂及真空机械臂装置，机械臂应用于晶圆传输，其包括夹持机构和摆臂机构。夹持机构包括：承载件；两个夹持单元，设置于承载件上；第一驱动单元，设置于承载件上并连接两个夹持单元中的至少一者，用于驱动对应的夹持单元动作，以使两个夹持单元能够夹持或释放工件。摆臂机构连接承载件并用于使夹持机构能够实现多自由度运动，以调整夹持机构的位置。本申请的机械臂，改变了现有技术中通过摩擦垫和晶圆之间的摩擦力固定晶圆并传输的方式，而是采用夹持的方式实现晶圆传输，同时摆臂机构还可以实现夹持机构的多自由度夹持，对晶圆夹持的稳定性更高，更利于快速输送，进而解决现有技术中晶圆输送效率低、稳定性差的技术问题。