全解耦三轴MEMS陀螺仪及电子产品

本公开实施例提供一种全解耦三轴MEMS陀螺仪及电子产品，陀螺仪包括：基底、固定于基底的X/Y检测质量块、Z检测质量块、驱动结构和Z解耦质量块，X/Y检测质量块环设于Z检测质量块、驱动结构和Z解耦质量块的外侧；Z检测质量块沿x轴方向相对设置；驱动结构沿x轴方向相对设置于Z检测质量块的外侧；Z解耦质量块沿x轴方向相对设置于Z检测质量块的内侧。X/Y检测质量块与其相邻的驱动结构弹性连接，Z检测质量块与其相邻的驱动结构弹性连接，Z解耦质量块与其相邻的Z检测质量块弹性连接。该陀螺仪提高X/Y检测质量块的哥氏转化率，最大化利用芯片面积，降低芯片尺寸和成本，降低耦合误差和正交误差，提高检测精度。