一种基于带宽感知的快速反演光刻方法及系统

本发明提供了一种基于带宽感知的快速反演光刻方法，通过分析光刻成像系统的带宽受限特性，对成本函数的梯度进行稀疏采样，从而减少ILT优化的计算冗余，降低ILT算法每次迭代的计算复杂度，优化ILT的算法效率；采用了ILT掩模高效迭代路径的方法，每次迭代在上次迭代方向的基础上继续前进，然后在前瞻位置计算成本梯度，从而获取本次迭代的优化方向。在不增加计算复杂度的前提下，该方法有助于加快ILT优化的收敛速率，进一步提升ILT算法的效率；本发明针对ILT算法，设计了一条能够快速、平稳迭代至ILT成本函数最优点的路径；通过消除ILT算法运行时的冗余计算，降低了计算复杂度。