一种纳米薄膜闪耀光栅耦合器

本发明公开一种纳米薄膜闪耀光栅耦合器，包括依次设置的波导区域、模斑转换器区域和耦合器区域，所述耦合区域包括若干个光栅周期，每个光栅周期由依次设置的亚波长光栅结构区域、超薄波导区域和厚波导区域组成；所述亚波长光栅结构区域内等间距的排列设置有若干个光栅蚀刻孔，所述光栅蚀刻孔均为贯穿光栅耦合器层顶部与底部的通孔；所述超薄波导结构区域厚度与亚波长光栅结构区域一致；所述厚波导区域厚度大于超薄波导区域厚度和亚波长光栅结构区域厚度，形成阶梯状结构，以提升光栅耦合器的方向性，从而增大耦合效率。该光栅耦合器具有高耦合效率、大制作容差等优点，为实现集成光电子芯片的广泛应用奠定了基础。