一种用于外观检测的微距检测方法及装置

本申请涉及微距检测技术领域，公开了一种用于外观检测的微距检测方法及装置。所述方法包括：对待检测样品进行三维扫描，得到样品三维数据并生成多轴云台的初始配置参数；对初始配置参数进行动态平衡计算，得到平衡重量分布和阻尼系统参数并进行微振动测试，生成振动补偿数据；进行多自由度协同运动控制并采集待检测样品的稳定化图像；对稳定化图像进行位置感知特征提取并生成带空间信息的特征地图；通过带空间信息的特征地图进行缺陷检测和多角度缺陷验证，得到初步缺陷检测结果；基于初步缺陷检测结果和实时位置信息，执行云台引导的注意力机制算法进行缺陷分布分析，生成样品缺陷分布数据，本申请提高了缺陷检测的准确率。