摘要
提供了载体基底和通过使用载体基底制造半导体封装件的方法。所述载体基底包括:主层,包括彼此相对的第一表面和第二表面,并且在彼此相对的第一表面与第二表面之间延伸;第一沟槽,从载体基底的第一表面延伸到主层中;以及第一有机图案,在第一沟槽内部。所述制造半导体封装件的方法包括:设置这样的载体基底;在载体基底上设置半导体芯片;以及形成电连接到半导体芯片的再分布层。
技术关键词
载体基底
半导体芯片
半导体封装
图案
沟槽
模制
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半导体芯片清洗
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