摘要
本申请提供一种芯片封装结构的制作方法、芯片封装结构及电子设备,涉及半导体制造技术领域,所述方法包括:提供一封装基板,封装基板包括呈阵列分布且嵌入封装材料中的多个芯片,每个芯片周围包括多个待切割区;基于部分待切割区对封装基板进行半切,在部分待切割区形成半切槽;将封装基板放置于真空吸附平台上,通过真空吸附平台对封装基板进行真空吸附;在封装基板远离真空吸附平台的一侧进行植球,形成多个焊料球;基于待切割区进行分割,形成多个芯片封装结构,在上述设计中,通过对封装基板进行半切,可以降低封装基板的翘曲程度,减小封装基板整体形变的力,使封装基板更易于与真空吸附平台贴合,如此,可以实现自动化生产。
技术关键词
封装基板
芯片封装结构
真空吸附平台
定位标记
封装材料
焊料球
电子设备
嵌套
阵列
半导体
环形
通孔
矩形
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