一种红外偏振探测器制备方法及红外偏振探测器

本申请公开了一种红外偏振探测器制备方法及红外偏振探测器，属于红外偏振技术领域。采用硅衬底作为衬底，并在硅衬底表面形成光栅后，进一步以光栅为掩膜向下刻蚀硅衬底，在硅衬底内部形成沟槽，得到光栅和沟槽两种结构叠加形成的偏振结构，具有以下有益效果：介质层附着力与结构更加稳定；能够形成陡度优于光栅的高陡直度偏振结构，有助于提升消光比；基于标准硅刻蚀技术能够形成良好线宽；硅衬底的厚度可以比传统碲镉镉衬底更厚一些，对厚度均匀性要求更低；降低了传统碲锌镉基碲镉汞红外偏振探测器的片上微图形的加工难度。