一种基于CNN和RNN的电子显微镜快速自动对焦方法及系统

本发明提供一种基于CNN和RNN的电子显微镜快速自动对焦方法及系统，涉及电子显微镜自动对焦技术领域，该方法包括收集电子显微镜图像，进行预处理后，用于训练预先构建的CNN模型；实时图像输入训练好的CNN模型，输出偏移量和特征值，并计算清晰度值；基于预测偏移量与清晰度值，确定下次拍摄的对焦距离；调整对焦拍摄，收集多组对焦距离与清晰度值数据，直至达到预设次数；将特征值与对焦距离差拼接为特征向量，排序后输入训练好的RNN，预测最佳对焦偏移量；根据预测的最佳对焦距离调整电子显微镜，完成自动对焦。本发明减少拍摄次数保护材料，灵活评估图像清晰度，实现高精度自动对焦，且模型可自适应重训，应对变化，灵活实用。