一种用于芯片制造中抽检装置

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一种用于芯片制造中抽检装置
申请号:CN202411368388
申请日期:2024-09-29
公开号:CN119252753B
公开日期:2025-08-01
类型:发明专利
摘要
本发明涉及一种用于芯片制造中抽检装置,包括外壳组件和清洁组件,所述外壳组件的内部上方安装有动力组件,且动力组件的下端连接有夹持组件,所述清洁组件位于夹持组件的左右两侧,且夹持组件包括通气管、涡轮和吸盘夹具,所述通气管的内部安装有涡轮,且通气管的下端安装有吸盘夹具,所述清洁组件包括支撑架、清洁毛刷、第一传动轮、皮带和第二传动轮,且支撑架的内部安装有清洁毛刷,所述支撑架的前后两侧连接有第一传动轮,本发明的有益效果是:该设备具有补气结构,避免夹持损坏芯片,该设备能够对芯片的表面进行清理,同时也能够对芯片进行定位,该设备能够进行避光,避免光照影响设备的检测效果,同时也具有密封结构,避免连接处漏光。
技术关键词
抽检装置 外壳组件 吸盘夹具 清洁组件 夹持组件 闭合组件 传动轮 通气管 箱体组件 动力组件 清洁毛刷 芯片 遮光箱 密封组件 密封气垫 滚动钢珠 阀体组件 供气组件 皮带输送机 检测台
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