MEMS芯片测试设备

本发明公开一种MEMS芯片测试设备，包括：机架和分别安装于机架上的料仓组件、上下料组件、测试组件，上下料组件包括X向驱动模组、可活动Y向驱动模组、可活动的Z轴驱动模组和若干个用于拾取芯片的吸嘴，竖直设置的吸嘴可活动地安装于Z轴驱动模组上，料仓组件包括至少1个上料盒和至少2个下料盒，上料盒和下料盒内均设置有若干个沿竖直方向排列的芯片料盘。本发明既可以在测试过程中通过压头实现对各个芯片的稳定压持并对多颗芯片进行双轴多角度旋转，从而实现多芯片的批量测试，又可以保证测试全过程中芯片受力的稳定性与一致性，还可以穿过条形通孔对芯片座内的芯片进行快速取放，提高生产测试效率并保证测试的精度。