一种自适应的检验质量电荷控制方法与装置

本发明公开了一种自适应的检验质量电荷控制方法与装置，水平方向的平行金属极板施加激励电压，测得位移信号并转为电压信号；根据电压信号计算控制力矩和反馈电压；将反馈电压施加到水平方向的平行金属极板，将检验质量控制在平衡位置；将电荷的估计值和检验质量的电荷做差，得到电荷误差值；随后计算得到电荷控制所需的前馈增益系数和反馈增益系数，再计算得到充放电速率；根据充放电速率，驱动紫外光照射模块，并将偏置电压施加到竖直方向两侧的平行金属极板上，将检验质量的电荷控制到0。本发明无需对检验质量的充放电物理特性进行测量即可实现检验质量的电荷自适应控制，可以提供良好的电荷闭环控制和鲁棒性。