摘要
本发明公开了一种半导体芯片测试方法及装置,测试方法包括:确定多个待测芯片中具有良品标识的一个待测芯片;将待测芯片进行第一次翻转,使得待测芯片的塑封面裸露;确定第一次翻转后的待测芯片的状态;在第一次翻转后的待测芯片无缺陷的情况下,将待测芯片转移至第二承载膜;将第二承载膜上的所有待测芯片的塑封面的表面形成电磁屏蔽层;将其中一个待测芯片进行第二次翻转,使得待测芯片的第一面裸露;确定第二次翻转后的待测芯片的第二状态;在第二次翻转后的待测芯片无缺陷的情况下,将待测芯片转移至第三承载膜;对第三承载膜上的待测芯片进行测试。本发明可以提高芯片的测试精度、测试良率和测试效率。
技术关键词
待测芯片
半导体芯片测试装置
承载膜
电磁屏蔽层
封面
分拣机
次品
顶针
传送机构
标识
镀膜工艺
检测相机
测试方法
身份
基板
精度
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带宽测试装置
矢量网络分析仪
探针模块
直流电源模块
信号转换单元
PID控制参数
控温方法
待测芯片
温控模块
基础
待测芯片
老炼测试
老炼系统
半导体
电源管理电路
FPGA板卡
测试机台
待测芯片
测试方法
配套测试板