一种半导体芯片测试方法及装置

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一种半导体芯片测试方法及装置
申请号:CN202411525292
申请日期:2024-10-29
公开号:CN119270032A
公开日期:2025-01-07
类型:发明专利
摘要
本发明公开了一种半导体芯片测试方法及装置,测试方法包括:确定多个待测芯片中具有良品标识的一个待测芯片;将待测芯片进行第一次翻转,使得待测芯片的塑封面裸露;确定第一次翻转后的待测芯片的状态;在第一次翻转后的待测芯片无缺陷的情况下,将待测芯片转移至第二承载膜;将第二承载膜上的所有待测芯片的塑封面的表面形成电磁屏蔽层;将其中一个待测芯片进行第二次翻转,使得待测芯片的第一面裸露;确定第二次翻转后的待测芯片的第二状态;在第二次翻转后的待测芯片无缺陷的情况下,将待测芯片转移至第三承载膜;对第三承载膜上的待测芯片进行测试。本发明可以提高芯片的测试精度、测试良率和测试效率。
技术关键词
待测芯片 半导体芯片测试装置 承载膜 电磁屏蔽层 封面 分拣机 次品 顶针 传送机构 标识 镀膜工艺 检测相机 测试方法 身份 基板 精度
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