一种高精度固晶机及其使用方法

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一种高精度固晶机及其使用方法
申请号:CN202411534705
申请日期:2024-10-31
公开号:CN119419157B
公开日期:2025-08-22
类型:发明专利
摘要
本发明属于固晶机技术领域,具体涉及一种高精度固晶机及其使用方法,所述固晶机包括机架、龙门组件,龙门组件具有工作台板、工作台板两侧Y轴方向设置的侧边板、每个侧边板顶部设置的龙门Y轴组件、滑动连接于两个龙门Y轴组件之间的两个龙门X轴组件,第一个龙门X轴组件上滑动连接的固晶模组、第二个龙门X轴组件上滑动连接的蘸胶模组,固晶模组用于在三维空间内运动拾取芯片并放至指定的固晶位置;蘸胶模组用于在三维空间内运动,将胶涂抹于工作台板上放置的基板的指定固晶位置。所述使用方法检测晶圆上芯片位置、拾取芯片、缓存芯片、芯片固晶、产品蘸胶与点胶。本发明提高了芯片的固晶精准度。
技术关键词
晶圆级相机模组 固晶机 升降机构 CCD技术 轴承安装座 龙门 芯片 工作台板 邦头机构 Y轴组件 CCD相机组件 蘸胶机构 电机组件 吸盘安装板 点胶头 旋转组件 识别基板 视觉模组
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