一种流体多参数测量的MEMS谐振式传感器芯片及其工作方法

本发明属于MEMS传感器技术领域，公开了一种流体多参数测量的MEMS谐振式传感器芯片及其工作方法，硅基固支体上连接有形状和大小相同的第一、第二阶梯微悬臂板阵列悬空结构，第一、第二阶梯微悬臂板阵列悬空结构均包括矩形的且同轴设置的支撑板和宽板悬臂，两支撑板宽边上的对称轴平行，宽板悬臂的临边之间留有间隙，支撑板的宽度小于宽板悬臂的宽度，支撑板的两端分别与硅基固支体和宽板悬臂连接，支撑板上设有压电电极对，每个压电电极均连接有金属引线；第一阶梯微悬臂板阵列悬空结构的宽板悬臂上设有梳齿状的金属层线圈，金属层线圈的齿部朝向宽板悬臂的自由端。该传感器芯片能够实现流体不同参量的协同测量，且在流体中具备压电自激励与自检测性能。