生物压力传感器芯片的制作方法

一种生物压力传感器芯片的制作方法，包括以下步骤：通过多重离子注入工艺在衬底中形成较低电阻值的压力敏感电阻；利用干法腐蚀工艺进行芯片底部晶圆层的加工成型；采用化学气相沉积工艺在芯片表面沉积钝化层。本发明通过多重离子注入工艺得到的电阻具有相对更低的电导率，桥阻更小，从而使芯片具有更高的灵敏度与精度；干法腐蚀方向性好，能够实现高精度的加工；在芯片表面使用化学沉积法形成一层致密的Si3N4钝化层，具有致密性和化学稳定性，芯片的抗辐照能力得到提升。