摘要
本申请公开了一种半导体封装件及其制作方法、半导体器件及电子设备。半导体封装件包括半导体芯片、保护层、塑封层、基板及导电件。半导体芯片包括相背的第一面和第二面。半导体芯片还包括钝化层,钝化层覆盖于第二面,并具有导电区域。保护层设于钝化层背离半导体芯片的一侧,并露出导电区域。塑封层至少覆盖保护层背离钝化层的一侧,塑封层的硬度大于保护层的硬度。半导体芯片设于基板,第一面与基板连接。导电件包括相对的第一端和第二端,第一端穿设保护层后与导电区域电连接,第二端与基板连接。
技术关键词
半导体封装件
半导体芯片
软化剂
多层金属结构
半导体器件
导电件
孔对准
基板
晶圆
掩膜板曝光
低介电材料
涂覆光刻胶
电子设备
硅氧烷
大气压
导电层
衬底
蚀刻