半导体封装件及其制作方法、半导体器件及电子设备

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半导体封装件及其制作方法、半导体器件及电子设备
申请号:CN202411547986
申请日期:2024-10-31
公开号:CN119480806A
公开日期:2025-02-18
类型:发明专利
摘要
本申请公开了一种半导体封装件及其制作方法、半导体器件及电子设备。半导体封装件包括半导体芯片、保护层、塑封层、基板及导电件。半导体芯片包括相背的第一面和第二面。半导体芯片还包括钝化层,钝化层覆盖于第二面,并具有导电区域。保护层设于钝化层背离半导体芯片的一侧,并露出导电区域。塑封层至少覆盖保护层背离钝化层的一侧,塑封层的硬度大于保护层的硬度。半导体芯片设于基板,第一面与基板连接。导电件包括相对的第一端和第二端,第一端穿设保护层后与导电区域电连接,第二端与基板连接。
技术关键词
半导体封装件 半导体芯片 软化剂 多层金属结构 半导体器件 导电件 孔对准 基板 晶圆 掩膜板曝光 低介电材料 涂覆光刻胶 电子设备 硅氧烷 大气压 导电层 衬底 蚀刻
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