一种基于级联结构的物理虚拟混合式挥发性有机化合物传感阵列

本发明公开了一种基于级联结构的物理虚拟混合式挥发性有机化合物传感阵列，由多个石英晶体微天平(QCM)器件级联构成，实现了多个QCM器件的输出信号在同一数据测量过程中获取。四个QCM器件分别涂覆有不同的金属有机框架(MOF)薄膜。本发明构建了混合物理虚拟传感阵列，结合了传感器阵列和虚拟传感器阵列的优点，通过史密斯图可以计算得到电阻、电抗、阻抗角等参数，针对每种气体可形成特征指纹，可用于不同浓度下多种VOC的选择性和定量检测。